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科学研究
一种喷雾热解制备半导体薄膜的装置
专利名称: 一种喷雾热解制备半导体薄膜的装置
专利号: ZL202122019181.0
发明人: 宋安刚;朱地;王义文(学);赵保峰;关海滨;徐丹;冯翔宇

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